薄膜功能材料

薄膜功能材料所涉及的领域极为广泛，囊括了大多数的功能材料。近年来由于纳米技术的发展，各种新型功能薄膜不断涌现，各项性能指标不断改进，因此，我们介绍的是薄膜功能材料领域一部分。一、敏感薄膜敏感材料是各种传感器的关键部分，是利用材料在一定环境中性能（主要是电学性能）变化的特性来进行测量的元件。以前敏感元件大多为块体材料，近年来由于薄膜材料是选择比较容易，制作工艺较简单，且易于实现微型化和集成化，因而薄膜敏感元件引起了人们越来越多的研究。薄膜敏感材料种类很多，这里仅举几个典型的例子。热敏薄膜元件是利用材料性能随温度的改变，最常用的是电阻的变化，例如在AL2O3基片上制备叉指电极后溅射上SiC模就构成了SiCAIG??薄膜热敏电阻，SiC膜就构成了SiC薄膜热敏电阻，SiC热敏电阻环境稳定性好，可用于各种恶劣环境。在Al2O3或玻璃基片上镀上0.1~1mm厚的铂薄膜，再经精细加工成所需形状就构成铂薄膜热敏电阻，用这种方法得到的铂薄膜电阻值范围可达10~10kΩ，其电阻值精确，温度系数是常数，稳定性也很好，因此是一种很好的热敏元件。采用阳极氧化方法制成的多孔氧化铝膜，当细孔吸附水分子时阻抗就会发生变化，根据这个性能可以制成湿度传感器。这种传感器响应速成率快，在相对湿度10%~90%范围有线性输出，因而得到广泛应用。此外阳极氧化Ta2O3膜和蒸镀Se膜、Ge膜也用来做湿度传感器。...

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